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石墨靶材产品都有哪些特性

时间:2023-03-15浏览次数:1028

  靶材产品相信很多人都会有一些陌生,它是有不同材料的靶材,像石墨靶材、金属靶材、陶瓷靶材等,不同材料的靶材所应用的领域也不一样,今天来讲讲石墨靶材,这种材料的靶材会有什么展现呢,接下来看看石墨靶材产品都有哪些特性。


  常用靶材:该领域常用靶材包括钽/铜/钛/铝/金/镍等难熔金属。


  用途:主要用作集成电路的主要原料 3 功能要求:纯度、尺寸、集成度等技术要求高。


  1、耐高温


  石墨靶材的熔点为3850±50℃,即使在超高温电弧中烧制,它也具有非常低的重量损失和非常小的热膨胀系数,石墨的强度随着温度的升高而增加,在 2000°C 时石墨的强度增加一倍。


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  2、导电/导热性


  石墨的导电率比一般非金属矿物高100倍,导热性超过钢、铁、铅等金属材料。随着温度升高,导热性降低,即使在非常高的温度下,石墨也能起到绝缘体的作用。石墨之所以能导电,是因为石墨中的每个碳原子只与其他碳原子形成三个共价键,每个碳原子都持有一个自由电子来传输电荷。


  3、润滑性


  石墨的润滑性能取决于石墨鳞片的大小,薄片越大,摩擦系数越小,润滑性能越好。


  4、化学稳定性


  石墨在常温下具有很高的化学稳定性,耐酸、碱和有机溶剂。


  综合上述,可以了解到石墨靶材的性能,如耐高温、导电/导热性、润滑性等。